显微分析

•微区成分:在纳米尺度上分析样品的元素成分、分布以及化学态

•高分辨结构:无机材料的晶体排列、缺陷以及表面偏析

•微观形貌:纳米颗粒、薄膜、块体材料的形貌、尺寸、织构等。高度绝缘的有机、无机材料成像,磁性样品成像

•三维尺寸:薄膜表面粗糙度,一维材料、二维材料形貌、厚度等,生物、有机材料表面形貌等;单光子共聚焦成像,双光子共聚焦成像