发布日期：2022-08-17 点击：
仪器名称
准原位X射线光电子能谱仪
生产厂家及型号
ESCALAB Xi+
功能参数
X射线源类型：Monochromated，Al K-Alpha;
XPS单色指标：最小能量分辨率0.43 eV@60 kcps（Ag3d5/2）
XPS成像分辨率：＜3 μm
ISS：分辨率优于12 eV时，灵敏度＞25 kcps
REELS：分辨率优于0.5 eV时，灵敏度＞1 Mcps
样品的测试与分析尺寸：20 μm～900 μm之间连续可调
仪器用途
对固体样品表面进行点扫、线扫、面扫，从而对元素的价态、定性、定量进行分析；
XPI成像功能、微区回溯成谱，可得到样品表面元素的二维分布信息；
对样品深度剖析，配有离子刻蚀、角分辨XPS（可计算膜厚）；
测试离子散射能谱，其探测深度为一个单原子层；
测反射式电子能量损失谱，得到H元素含量。
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